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光学微电子污染工程设想处置计划

颁发时候:2017-03-31 15:11:07阅读量:

光学微电子污染工程之界说为将必然空间范围内之氛围中的微尘粒子、无害氛围、细菌等之污染物解除,并将室内之温湿度、干净度、室内压力、气流速率与气流漫衍、乐音震撼及照明、静电节制在某一须要范围内,而所给于出格设想之密闭空间。


光学微电子污染工程亦名无尘室或喧扰室,今朝已经是半导体、紧密制作、液晶制作、光学制作、线路板制作和生归天学、医药、食物制作等行业不可或缺的首要举措措施。近几年来,因为手艺之立异成长,对产物的高紧密度化、藐小型化之须要更加火急,如超大型积体电路之研讨制作,已成为天以下国在科技成长上极其正视的名目,而我公司的设想理念及施工手艺外行业中则处于抢先地位。


一、光学微电子污染工程通俗包含: 


1、 干净出产区 


2、 干净帮助间(包含职员污染用房、物料污染用室和局部糊口用室等)风淋室 


3、 办理区(包含办公、值班、办理和歇息等) 


4、 装备区(包含污染空调体系利用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热装备用房) 


二、光学微电子污染工程污染道理: 


气流→初效氛围过滤器污染→空调→中效氛围过滤器污染→风机送风→管道→高效氛围过滤器污染风口→吹入房间→带走灰尘细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效氛围过滤器污染 反复以上进程,便可到达污染目标。 


光学微电子污染工程污染参数:换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa;平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 夏日>16℃;夏日 <26℃;动摇±2℃。 


温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%摆布为好;电子车间湿度略高以避免发生静电。噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。 


三、光学微电子污染工程布局资料:

1、污染无尘车间/厂房房墙、顶板材通俗多接纳50mm厚的夹芯彩钢板制作,其特色为雅观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等通俗接纳公用氧化铝型材制作。

2、空中可接纳环氧自流坪地坪或高等耐磨塑料地板,有防静电请求的,可选用防静电型。

3、送回风管道用热渡锌板制成,贴污染保温结果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4、高效送风口用不锈钢框架,雅观干净,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜干净。 


四、光学微电子污染工程处置计划:

污染工程的设想进程中,应增强对光学微电子行业污染工程设想计划阐发领会,按照该工程是新建工程或是旧厂房革新工程,并连系其详细的出产工艺、出产流程等请求肯定其须要的干净度、温湿度。再按照该工程的详细情况,同时还要斟酌到出产厂家的经济蒙受才能,综合各类身分来肯定接纳何种污染计划,如许才可设想出一个能知足甲方出产利用请求、工程造价公道、经济节能合用的计划。

1、组合式氛围处置机组+冷水机组+高效送风口:

这是一个最传统的污染空调体系的设想计划。组合式氛围处置机组里含有各类功效段,如夹杂段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组供给。

长处:A.氛围处置结果好,因氛围颠末集合处置,在送风进程中被污染水平较低。送风的温度、湿度的节制比拟切确;B.比拟合用于有集合冷源的或是较大的厂房;C.空调冷热源可与厂房通俗空调体系合用或自力冷热源;D.维修频次较低;E.车间的乐音低。 


错误谬误:A.须要有配套的冷冻机房或有安排热泵机组的室外空间。另须要有安排组合式氛围处置机组的空调机房,如25000m3/h的组合式氛围处置机组,经常使用形状尺寸为6450×1850×2250mm摆布。对旧厂房革新名目来讲比拟坚苦空出一个20-30┫的机房的;B.造价高。 


特色:A.倡议新风颠末集合处置后再与回风夹杂,如许能够削减表冷段的冷处置承担;B.这类计划通俗能够合用干净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的污染无尘车间/厂房。 


2、光学微电子行业污染工程设想计划阐发之水冷柜机+增压风柜+高效送风口

与前种计划比拟,这是绝对比拟简单的空调计划。它能够大大地减少机房的面积,水冷柜机能够按照详细的情况安排于较小机房内或污染车间内,增压风柜也能够安排于机房内或吊在机房内或在夹层内。 


长处:A.氛围处置结果较好的,处置事后的氛围在送风进程中被污染水平低。送风的温度、湿度节制结果能够到达较好的节制。首要在氛围处置机组(增压风柜)里停止节制;B.安排矫捷。自带冷源;C.巨细厂房、新旧厂房都合用;D.维修频次较低;E.车间乐音低。 


错误谬误:A.须要小面积的机房。须要有冷却塔、冷却水泵的摆放地位;B.空调机组与空调处置机组要集合安排;

C.造价较低。特色:这类计划能够是一次回风也能够是二次回风,详细按照车间的巨细情况而定;这类计划通俗能够合用于干净度为千级、万级、十万级等的污染无尘车间/厂房。 


3、光学微电子行业污染工程设想计划阐发之分体空调柜机++FFU送风口

这是最简单单纯的一个空调计划。是间接将分体空调柜机安排于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单位FFU平均安排于吊顶天花。这个计划合用于对室内温湿度精度请求不高的无尘车间。 


长处:A.不须要占用机房面积,安排很矫捷的;B.能够知足氛围的干净度;C.造价最低。如斯类无尘车间初投资约须要40万;D.送风平均度好。 


错误谬误:A.温湿度节制较差;B.能够知足氛围的干净度;C.FFU的维修频次高。 


五、光学微电子行业污染工程设想计划阐发之无尘车间的特色 


A、无尘车间的 干净度: 


LCD制屏的简单流程为:洗濯→印刷取向膜→摩擦→密封印刷层漫衍隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。在本设想里是指结尾工艺的一些无尘车间,其污染干净度通俗为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间首要是这类产物的冲压车间、组装等无尘车间,其干净度通俗为万级或十万级。 


B、室内氛围参数请求 : 


(1)、温湿度请求:温度通俗为24+2℃,绝对湿度为55+5%。

(2)、新风量大。因为这类车间内,职员比拟多,能够按照以下数值应取以下的最大值:非单向流干净室总送风量的10-30%;弥补室内排风和坚持室内正压值所需的新颖氛围量;保障室内每人每小时的新颖 氛围量≥40m3/h。

(3)、送风量大。为了知足干净室内的干净度及热湿均衡,须要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,若是是万级,送风量就须要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);若是是十万级,送风量就须要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。&nbsp;


六、光学微电子行业污染工程设想计划阐发 


对惯例电子厂房干净室空调的设想,应按照电子厂房的出产工艺请求及甲方的经济条件来选用哪一种空调设想计划,以知足出产工艺的请求作为条件。按照以往经历,对请求高的能够选用组合式氛围处置机组集合处置的空调计划;对请求不高的,又要初投资低的,能够选用柜机+FFU。总之,详细的计划挑选按照详细情况而定。 


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